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扫描电子显微镜(SEM)平面形貌观察:通过电子束扫描样品表面,利用样品表面形貌对电子的散射作用产生二次电子等信号,经检测处理后形成高分辨率的表面形貌图像,可直观呈现样品的微观结构、形态、尺寸分布等信息。
能谱分析法(EDS):常与SEM联用,利用电子束激发样品产生特征X射线,通过检测特征X射线的能量和强度,实现对样品微区化学成分的定性和定量分析,可快速确定样品中元素的种类及相对含量。
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我们配置了日立的超高分辨冷场发射扫描电子显微镜FE-SEM SU8600,结合其搭载的能谱分析系统,具备在高分辨率下同时进行样品平面形貌观察和微区成分分析的能力。可满足材料科学、纳米技术、生物学等多个领域对微观结构与成分关联研究的需求,能实现从微米到纳米尺度的形貌表征及元素分布分析。
随着快速数据采集和数据处理技术的发展,电子显微镜进入了一个不仅重视数据质量,而且重视其采集过程的时代。日立的冷场发射扫描电镜SU8600秉承了Regulus 8200系列的高质量图像及长时间稳定运行的冷场成像技术,同时还大大提升了高通量和自动数据获取能力。

功能特点
· 采用场发射电子枪,可提供高亮度、高相干性的电子束,保障高分辨率成像。
· 具备多种成像模式(二次电子像、背散射电子像等),可针对不同样品和研究需求选择,清晰呈现表面形貌细节。
· 集成能谱分析系统(EDS),可在观察形貌的同时进行微区成分分析,实现形貌与成分的对应研究。
· 拥有良好的真空系统,支持对各类固体样品(包括导电、非导电样品,需适当处理)进行观察和分析。
技术分析
| 技术指标 | 参数范围 |
| 分辨率 | 高真空模式下,二次电子像分辨率可达0.6 nm(15 kV)、0.7 nm(1 kV);低真空模式下也有较好的分辨率表现。 |
| 加速电压 | 范围为0.5 kV - 30 kV,可根据样品特性和观察需求调节。 |
| 放大倍数 | 可从20倍到200万倍以上,覆盖从宏观到纳米尺度的观察范围。 |
| 能谱分析(EDS) | 元素检测范围为B(5)- U(92),定量分析精度较高,可满足常规成分分析需求。 |
在材料科学领域的应用
· 纳米材料研究:观察纳米颗粒、纳米线、纳米薄膜等的形貌、尺寸、分散性,结合EDS分析其成分及纯度。
· 金属材料分析:分析金属的显微组织、晶粒大小、析出相形态及成分,研究金属的腐蚀、磨损表面形貌及成因。
· 陶瓷材料表征:观察陶瓷的晶粒结构、孔隙分布,分析界面处的成分变化,探究陶瓷的制备工艺与性能关系。
· 复合材料研究:观察复合材料中不同相的分布形态,分析界面结合情况及各相的成分,评估复合材料的相容性和性能。